气态氯硅烷组分分析是采用填充柱进行高效分析的色谱方法。为了充分利用填充柱的高效分离特性,需采用与之配套的进样和检测系统。普瑞GC-9280型气相色谱仪采用六通阀进样,并装有液体进样气化室,兼分析液态氯硅烷。
1.气态氯硅烷组分分析的方法原理 气态氯硅烷组分分析是采用填充柱进行高效分析的色谱方法。为了充分利用填充柱的高效分离特性,需采用与之配套的进样和检测系统。本方法采用六通阀进样,并装有液体进样气化室,兼分析液态氯硅烷。
2.适用范围 适用于气态氯硅烷组分分析
3.分析依据的标准 YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
4.气态氯硅烷组分分析气相色谱描述
4.1. 用途 气态氯硅烷组分分析,如二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅。
4.2. 仪器型号 北京普瑞仪器有限公司GC-9280型气相色谱仪
4.3. 系统配置描述 本方案配置了双阀进样口,双液体进样口,两阀四柱,2 个 TCD 检测器等组成。
5. 技术参数
电源
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AC220V±10% 50Hz 2200W
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工作环境
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环境温度:5~35℃,相对湿度:≤85%,室内无腐蚀性气体,工作台平稳无振动,周围无强磁场存在
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相关配件
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检测器(根据用户需求搭配)
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氢火焰离子化检测器(FID)
热导池检测器(TCD)
电子捕获检测器(ECD)
火焰光度检测器(FPD)
氮磷检测器(NPD)
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自动进样器(选配)
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岛津AOC-20i
HTA公司的HT系列高效气相液体自动进样器
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柱温箱
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炉膛尺寸
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280×300×180mm
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温度范围
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室温+5~400℃
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温度设定
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1˚C;程序设定升温速率0.1˚C
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色谱柱温度稳定性
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当环境温度变化1˚C时,为0.01˚C
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程升阶数
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16阶
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程升速率
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0.1℃-40℃/min(增量0.1℃)
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氢火焰离子化
检测器(FID)
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最大操控温度
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400℃
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检测限
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≤5×10-12g/s [n-C16]
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漂移
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≤5×10-13A/30min
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噪音
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≤2×10-13A
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动态线性范围
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≥107
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热导池检测器
(TCD)
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最大操控温度
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400℃
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灵敏度
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≥6000mv.ml/mg [苯/甲苯]
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漂移
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≤100uV/30mi
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噪音
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≤20uV
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动态线性范围
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≥104
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