氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测,检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器,采用普瑞公司的中心切割技术,进样阀均带有吹扫保护气路;整机采用多柱箱设计,并配备进样压力自动校正系统,不同底气的样品的进样量。
项目
指标
高纯氪
纯氪
一等品
合格品
氪气(Kr)(体积分数)/10-2
≥
99.999
99.995
99.99
氮(N2)(体积分数)(N2)/10-6
≤
2
8
20
氧(O2)+氩(Ar)(体积分数)/10-6
1.5
5
氢(H2)(体积分数)/10-6
0.5
1
一氧化碳(CO)(体积分数)/10-6
0.3
0.4
二氧化碳(CO2)(体积分数)/10-6
0.8
甲烷(CH4)(体积分数)/10-6
水分(H2O)(体积分数)/10-6
3
氙气(Xe)(体积分数)/10-6
50
氟化物(CF4)(体积分数)/10-6
10
15