北京普瑞分析仪器有限公司
氦离子色谱仪适用电子工业用气体中痕量杂质的检测，检测浓度可达5ppb。仪器配备高灵敏的氦离子化检测器，采用普瑞公司的中心切割技术，进样阀均带有吹扫保护气路；整机采用多柱箱设计，并配备进样压力自动校正系统，不同底气的样品的进样量。
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项目 |
指标 |
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高纯氪 |
纯氪 |
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一等品 |
合格品 |
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氪气（Kr）（体积分数）/10-2 |
≥ |
99.999 |
99.995 |
99.99 |
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氮（N2）（体积分数）（N2）/10-6 |
≤ |
2 |
8 |
20 |
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氧（O2）+氩（Ar）（体积分数）/10-6 |
≤ |
1.5 |
5 |
5 |
|
氢（H2）（体积分数）/10-6 |
≤ |
0.5 |
1 |
2 |
|
一氧化碳（CO）（体积分数）/10-6 |
≤ |
0.3 |
0.4 |
1 |
|
二氧化碳（CO2）（体积分数）/10-6 |
≤ |
0.4 |
0.8 |
1 |
|
甲烷（CH4）（体积分数）/10-6 |
≤ |
0.3 |
0.8 |
1 |
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水分（H2O）（体积分数）/10-6 |
≤ |
2 |
3 |
5 |
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氙气（Xe）（体积分数）/10-6 |
≤ |
2 |
20 |
50 |
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氟化物（CF4）（体积分数）/10-6 |
≤ |
1 |
10 |
15 |
