气态氯硅烷组分分析是采用填充柱进行高效分析的色谱方法。为了充分利用填充柱的高效分离特性，需采用与之配套的进样和检测系统。普瑞GC-9280型气相色谱仪采用六通阀进样，并装有液体进样气化室，兼分析液态氯硅烷。
1.气态氯硅烷组分分析的方法原理 气态氯硅烷组分分析是采用填充柱进行高效分析的色谱方法。为了充分利用填充柱的高效分离特性，需采用与之配套的进样和检测系统。本方法采用六通阀进样，并装有液体进样气化室，兼分析液态氯硅烷。
2.适用范围 适用于气态氯硅烷组分分析
3.分析依据的标准 YS/T 1060-2015 硅外延用三氯氢硅中其他氯硅烷含量的测定 气相色谱法
4.气态氯硅烷组分分析气相色谱描述
4.1. 用途 气态氯硅烷组分分析，如二氯二氢硅、三氯氢硅、四氯化硅。
4.2. 仪器型号 北京普瑞仪器有限公司GC-9280型气相色谱仪
4.3. 系统配置描述 本方案配置了双阀进样口，双液体进样口，两阀四柱，2 个 TCD 检测器等组成。
5. 技术参数
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电源 |
AC220V±10% 50Hz 2200W |
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工作环境 |
环境温度：5～35℃，相对湿度：≤85％，室内无腐蚀性气体，工作台平稳无振动，周围无强磁场存在 |
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相关配件 |
检测器（根据用户需求搭配） |
氢火焰离子化检测器（FID） 热导池检测器（TCD） 电子捕获检测器（ECD） 火焰光度检测器（FPD） 氮磷检测器(NPD) |
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自动进样器（选配） |
岛津AOC-20i HTA公司的HT系列高效气相液体自动进样器 |
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柱温箱 |
炉膛尺寸 |
280×300×180mm |
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温度范围 |
室温+5~400℃ |
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温度设定 |
1˚C；程序设定升温速率0.1˚C |
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色谱柱温度稳定性 |
当环境温度变化1˚C时，为0.01˚C |
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程升阶数 |
16阶 |
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程升速率 |
0.1℃-40℃/min（增量0.1℃） |
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氢火焰离子化 检测器（FID） |
最大操控温度 |
400℃ |
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检测限 |
≤5×10-12g/s [n-C16] |
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漂移 |
≤5×10-13A/30min |
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噪音 |
≤2×10-13A |
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动态线性范围 |
≥107 |
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热导池检测器 （TCD） |
最大操控温度 |
400℃ |
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灵敏度 |
≥6000mv.ml/mg [苯/甲苯] |
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漂移 |
≤100uV/30mi |
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噪音 |
≤20uV |
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动态线性范围 |
≥104 |
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